近日，中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會、中國電子材料行業(yè)協(xié)會、中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會、中國電子報共同評選出“第四屆(2009年度)中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)”36個項目。中國電子科技集團公司第45研究所研發(fā)的SSJ-100超聲掃描顯微鏡榮獲此獎項。

SSJ-100超聲掃描顯微鏡是一種離線的檢測分析設(shè)備，在失效分析、工藝過程開發(fā)、關(guān)鍵生產(chǎn)工序的監(jiān)控及小批量產(chǎn)品檢測方面有很大的優(yōu)勢，填補了國內(nèi)空白，并且在各類超聲圖像的構(gòu)建與分析、超聲發(fā)射接收裝置、聚焦承片裝置等多方面擁有相關(guān)及自主知識產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)。該產(chǎn)品可用于各類半導(dǎo)體器件封裝如QFN、BGA、FlipChip、CSP、MCM等內(nèi)部損傷及不連續(xù)性等各種缺陷的無損檢測及可視化分析，并可用于MEMS的內(nèi)部無損檢測、制造工藝分析以及陶瓷、玻璃、金屬、塑料等各種材料的特征、特性分析。相對于X射線的無損檢測，超聲掃描顯微鏡可以完整反映器件內(nèi)部粘接層、填充層、結(jié)合層等各方面的內(nèi)部缺陷，作為無損檢測的新一代技術(shù)，它擁有不可替代的優(yōu)勢。它以良好的技術(shù)支持切實為用戶解決問題，在與國外同類產(chǎn)品的競標中獲得了用戶的認可，受到了眾多用戶的好評。該產(chǎn)品不但在技術(shù)上成為用戶產(chǎn)品生產(chǎn)的可靠保障，而且真正降低了國內(nèi)用戶的生產(chǎn)成本。